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Instrumento de recubrimiento por pulverización catódica con ionización por magnetrón
Instrumento de recubrimiento por pulverización catódica con ionización por magnetrón
Descripción general
Especificaciones técnicas
Ventajas del producto
Aplicaciones del producto
Descripción general del producto
El recubridor por pulverización catódica de iones con magnetrón está diseñado para la deposición de películas metálicas de alta calidad mediante tecnología de pulverización catódica con magnetrón. Permite la aplicación uniforme de recubrimientos metálicos sobre las superficies de las muestras y se utiliza ampliamente en ciencia de materiales, preparación de muestras para microscopía electrónica y procesamiento de semiconductores.
Especificaciones técnicas
| Especificación | Detalles |
| Sistema de vacío | Bomba mecánica rotativa (alta potencia) |
| Vacío definitivo | 2 Pa |
| Velocidad de bombeo | 50 Hz: 8 m³/h; 60 Hz: 9,6 m³/h |
| Corriente de pulverización | Máximo 100 mA |
| Presión de pulverización | 20 Pa – 8 Pa |
| Tiempo de vacío | |
| Manómetro de vacío | Manómetro digital, rango 2×10³ mbar |
| Materiales de recubrimiento | Níquel, Oro, Plata, Platino |
| Espesor de la película | 50 - 120 nm (se requiere medidor de espesor) |
| Tamaño de la muestra | Diámetro ≤ 50 ± 0,1 mm (capa única) |
| Cantidad de la muestra | 1 piece |
| Fuente de alimentación | CA 220 V / 50 Hz |
| Consumo de energía | |
| Método de enfriamiento | Refrigeración por agua (opcional) |
| Dimensiones | 360 × 300 × 380 mm |
| Peso | 45 kg |
Ventajas del producto
Pulverización catódica por magnetrón para un recubrimiento estable y uniforme
Compatible con diversos materiales metálicos
Operación sencilla para uso en investigación y enseñanza
Bombeo de vacío rápido para un flujo de trabajo eficiente
Diseño compacto adecuado para espacios de laboratorio limitados
Refrigeración por agua opcional para una mayor estabilidad
Aplicaciones del producto
Investigación de materiales y tratamiento de superficies
Preparación de muestras para microscopía electrónica
Fabricación de dispositivos semiconductores
Producción de electrodos de película metálica
Enseñanza e investigación en laboratorios universitarios
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